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熱式氣體質(zhì)量流量計:測量高純度氣體的流量上海自動化儀表在電子工業(yè)、生物醫(yī)藥、化學工業(yè)等領(lǐng)域中,純凈度要求高、控制精度高的氣體流量測量需求十分常見。而熱式氣體質(zhì)量流量計作為一種高精準、高可靠和無腐蝕的氣體流量測量儀器,廣泛應用于高純度氣體流量測量領(lǐng)域。本文將介紹熱式氣體質(zhì)量流量計在高純度氣體流量測量中的應用。 所謂熱式氣體質(zhì)量流量計,是指一種基于熱敏傳感技術(shù)的氣體質(zhì)量流量計。其中包括了差壓式、熱式以及超聲波式等傳感器類型,通過將氣體流過一個加熱器和兩個熱敏電阻器的裝置,來完成對氣體質(zhì)量流量的測量。熱式氣體質(zhì)量流量計被廣泛應用與氣體質(zhì)量流量的精確測量和控制上,使得高純度氣體的流量測量更加穩(wěn)定和精準。 例如,在生物醫(yī)藥領(lǐng)域中,高精準的氣體流量測量是生產(chǎn)過程控制的重要指標之一。如在制藥過程中,熱式氣體質(zhì)量流量計用于監(jiān)測、控制基因、細胞培養(yǎng)、發(fā)酵等過程中的氧氣流量、CO2流量、氮氣流量等氣體流量。這些氣體的濃度及流量對于產(chǎn)品的質(zhì)量起著決定性作用。 除生物醫(yī)藥領(lǐng)域之外,在電子工業(yè)中,高純氣體的流量控制也是一個至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。例如,在半導體制造工藝中,熱式氣體質(zhì)量流量計被廣泛應用到高純度的腐蝕性器具的氣體流量測量,并在制造過程中起到了至關(guān)重要的作用。 總而言之,熱式氣體質(zhì)量流量計在高純度氣體流量測量中的應用,可以實現(xiàn)對氣體流量的高精準、高可靠、無腐蝕的精確測量和控制,保證了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定可靠。上海自動化儀表隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,相信熱式氣體質(zhì)量流量計在高純度氣體流量測量領(lǐng)域中的應用將會越來越廣泛。 |