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氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的區(qū)分1、 質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器的概念 上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter (MFM),是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。 質(zhì)量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。 簡(jiǎn)單來說,質(zhì)量流量計(jì)只測(cè)量不控制。而質(zhì)量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測(cè)量也可以控制氣體流量大小。 2、 質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器的流量單位 氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 來表示,亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。 如果需要單位時(shí)間內(nèi)流過的質(zhì)量(如g/min),可以查閱標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度,然后作乘法就可以了。 3、質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn) (1) 直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量 熱式質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量流體質(zhì)量流量,輸出質(zhì)量流量信號(hào),無需其他設(shè)備,如溫度測(cè)試儀和壓力表,也無需進(jìn)行換算。 (2) 無可移動(dòng)部分 本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件,增加了本身的可靠性,無需機(jī)械維護(hù)。 (3) 可以準(zhǔn)確的測(cè)量微小流量,采用分流裝置,又可以測(cè)量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。 (4) 測(cè)量控制的自動(dòng)化 質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示,流量自動(dòng)計(jì)量,數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄,計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA,?數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,?能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,?進(jìn)行自動(dòng)控制。 (5) 準(zhǔn)確地定量控制流量 上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制,是用于對(duì)于不同氣體的比例控制等。 (6) 準(zhǔn)確度高,重復(fù)性好 準(zhǔn)確度可達(dá)+-1%F.S(full scale)重復(fù)性為+-0.25%F.S(full scale) (7) 體積小巧,安裝方便,操作簡(jiǎn)單 (8) 技術(shù)先進(jìn),符合發(fā)展潮流 |